净化棚是一种可提供局部高洁净环境的空气净化设备，适用于操作区内局部净化级别要求高的区域，采用工业铝材(或不锈钢方通、铁方通喷塑)作为框架，风机滤网机组(FFU)送风，四周悬挂防静电垂帘(或钢化玻璃)，其内部净化级别可达到100-10000级。净化棚的气流受多种因素共同影响，每一因素都可能导致净化效果的降低。因而要特别注意无尘室的洁净，确保无污染。主要影响气流的因素有如下几个：
1、一般操作台或生产设施等表面的气流分流点，应设于清理室空间与隔墙板间距2/3之处，如此可使作业人员运作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部份的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设施后面，运作台因而将受到污染，良率也势必降低。
2、清理室内的运作桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，相对地在其附近之清理度将会较差，在运作桌面钻上回风孔，将使涡流现象减少最低;组装材料之选择是否恰当、设施布局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。
3、洁净棚能快速组建的简易清理室,其具有安装快速、施工周期短、价格低廉、移动方便等特点，把主要生产工序控制在较小的环境内也是清理室设计的最佳选择。
4、风机从FFU顶部将空气吸入，经初效过滤器，高效过滤器过滤，过滤后的清理空气在整个出风面以0.45m/s±20%的风速匀速送出到棚内。形成均流层，使清理空气气流呈垂直单向流，从而保证了运作区内所要求的清理度。
5、影响无尘设备的气流因素很多，如制程设施、人员、清理室组装材、照明器具等，同时对于生产设施上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。

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